主要性能參數(shù)

• 測量范圍：±2.5mm。

• 最大允許掃描探測誤差：MPETHP≤2.0μm（使用 CRYSTA-Apex S700/900 機(jī)型及 ?8×60mm 測針時(shí)）。

• 刻度分辨率：＜0.02μm。

• 彈簧剛度：約 1.8N/mm。

• 最大測針長度：水平及垂直方向均可支持至 500mm，部分應(yīng)用場景下經(jīng)特殊配置可搭載長達(dá) 1000mm 的測針。

• 最大測針質(zhì)量：500g。

• 最大追蹤速度：采用已知幾何形狀掃描模式時(shí)可達(dá) 120mm/s。

構(gòu)造特點(diǎn)

• 適配長測針高精度測量：軸套式安裝，并運(yùn)用數(shù)字柵尺、讀數(shù)頭技術(shù)及獨(dú)立光學(xué)測量原理，能直接測量整個(gè)機(jī)構(gòu)的偏移情況，規(guī)避堆疊軸誤差，即使搭配 1000mm 的長測針或星形測針配置，也可保障高精度。

• 支持快速測針更換：借由 SCP80 測針交換端口與 SH80 測針架，可與模塊化更換架系統(tǒng)（MRS）對接實(shí)現(xiàn)測針自動(dòng)交換，優(yōu)化生產(chǎn)效率。且測針重復(fù)定位精準(zhǔn)，更換后常無需重新校準(zhǔn)。

• 具備碰撞保護(hù)功能：可分離測針吸盤具備 XY 碰撞保護(hù)功能，同時(shí) Z 向設(shè)有碰撞緊急停設(shè)置，可防止測頭因意外碰撞而損壞。

接口選項(xiàng)